Дата рождения: 16 сентября 1945 г. Образование, ученые степени и звания: - Физический факультет МГУ, 1969 г.
- Кандидат физико-математических наук, 1976 г.
- Доктор физико-математических наук, 1989
| Научные интересы: - Исследование взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом: распыление и вторичная ионная эмиссия металлов, полупроводников, включая многокомпонентные материалы;
- Модификация и анализ поверхности с помощью ионных пучков, напыление тонких плёнок, разработка ионных источников и ионно-пучковых систем;
- Изучение нанорельефа, формирующегося на поверхности полупроводниковых материалов при низкоэнергетическом ионном облучении;
- Разработка ускорителя газовых кластерных ионов
Статьи: Автор более 120 статей в научных журналах и трудах конференций
Ученики: Защищено 39 дипломных работ, подготовил 7 кандидатов наук |
|