Ускоритель кластерных ионов

    Кластеры занимают промежуточное место между отдельными атомами и крупными образованиями, твердыми телами. Кластеры – это совокупности атомов, от нескольких до нескольких десятков тысяч, объединенных силами различной природы. Это могут быть силы Ван-дер-Ваальса, ковалентные химические связи, металлические связи и пр. Ускорители пучков газовых кластерных ионов перспективны в таких промышленных технологиях как ионно-ассистированное осаждение тонких пленок, очистка поверхности и имплантация ионов на малые глубины.
    В нашей лаборатории был создан ускоритель кластерных ионов, который позволяет проводить эксперименты с использованием пучков кластерных ионов различных газов, энергий и размеров. На ускорителе проводятся эксперименты по высокоточной полировке поверхности металлов и полупроводников, изучаются механизмы распыления твердых тел кластерными ионами.