Пиролитическое газофазное осаждение


    Пиролиз – реакция превращения органических веществ при нагревании, протекающая по многим направлениям с образованием в конечном итоге элементного углерода. Процесс проводится в различных условиях: температура процесса может меняться от близкой к комнатной до превышающей 1000С, а давление может быть как ниже, так и выше атмосферного.
    Для создания покрытий используется установка пиролитического газофазного осаждения лаборатории взаимодействия ионов с веществом НИИЯФ МГУ.