Обратное рассеяние


    Ядерно-физический метод исследования твердых тел основан на применении физического явления – упругого рассеяния ускоренных частиц на большие углы при их взаимодействии с атомами вещества. Этот метод достаточно давно используется в ядерной физике для определения состава мишеней путем анализа энергетических спектров обратно рассеянных частиц. Аналитические возможности рассеяния легких частиц получили широкое применение в различных областях физики и техники, начиная от электронной промышленности и заканчивая исследованиями структурных фазовых переходов в высокотемпературных соединениях.
    Различие между резерфордовским (РОР) и ядерным (ЯОР) обратными рассеяниями заключается в сечениях ион-атомного и ион-ядерного рассеяния ds/dΩ. В случае РОР -анализа, сечение пропорционально Z2 и поэтому мало для легких элементов, подобно углероду. Для протонов с энергией более чем 1 МэВ сечение упругого процесса может быть намного выше, чем сечение резерфордовского рассеяния, из-за вклада сечения ядерного упругого процесса.
    Оба, РОР и ЯОР, - не чувствительны к водороду, поскольку сечение упругого рассеяния на водороде слишком мало. Методика ядер отдачи, напротив, может использоваться только для исследования элементов легче чем анализирующие ионы пучка, в нашем случае ионы He+, то есть для водорода.
    Наша лаборатория использует в исследованиях все эти три друг друга дополняющие ионно-пучковые методики исследования состава и толщин покрытий. Методики реализованы на ускорителя HVEE AN-2500 типа Ван дер Графа лаборатории ускорительных установок НИИЯФ МГУ.

    Основные характеристики установки:
  • энергия ионов от 800 кэВ до 2000кэВ,
  • возможность использования ионов H+ и He+,
  • высокая стабильность источника высокого напряжения (0,01%),
  • малая расходимость и малый разброс по энергиям пучка ионов,
  • хорошо отсепарированный пучок ионов,

Полезные ссылки: