Спектрометрия рассеяния ионов средних энергий


    Метод спектрометрии рассеяния ионов средних энергий (СРИСЭ – Medium Energy Ion Spectroscopy, MEIS) основан на принципе резерфордовского обратного рассеяния (РОР). Отличительной особенностью СРИСЭ является использование ионов с меньшей энергией, чем традиционный РОР, поэтому с помощью метода СРИСЭ возможно исследовать толщины до 200А. Более серьёзное различие содержится в инструментах измерения. Для анализа обратнорассеянных ионов метод РОР использует кремниевые обедненные детекторы, которые имеют ограничение по разрешению ~15кэВ. 
Метод СРИСЭ использует ионы с энергией меньше 200 кэВ, которые могут быть отклонены с помощью электростатического анализатора. Следовательно, возможно создание электростатического анализатора с разрешением, определяемым полем и размерами входной щели. Так же важным преимуществом электростатического анализатора является то, что при разрешении в 15 кэВ РОР позволяет анализировать образец с разрешением по глубине до 200А, тогда как электростатический анализатор позволяет анализировать энергии рассеянных ионов с разрешением 100 эВ и, следовательно, исследовать поверхность образца с разрешением в ангстрем.
    Нами данная методика реализована с использованием экспериментальной камеры сверхвысокого вакуума фирмы HVEE. Электростатический анализатор используемый нами позволяет анализировать обратнорассеянные ионы с энергиями до 130кэВ с разрешением порядка 300эВ, что эквивалентно потерям в слое золота толщиной 10А.


                                                                                                                      подробнее...                                                                      
Полезные ссылки:
http://en.wikipedia.org/wiki/Medium_energy_ion_scattering